中国有多少台euv设备，中国现在有多少台光刻机

1，中国现在有多少台光刻机

半导体产业最关键的一环并非设计芯片，而是制造芯片。设计只是画蓝图，实现起来却无比困难，就好拿麒麟芯片为例，尽管华为能够设计出芯片，但缺失了代工环节，芯片也无法生产出来。生产芯片最关键的一点就是光刻机，它是在硅晶片上雕刻集成电路的机器，光刻机的先进程度决定了晶体管的尺寸。想要在一块指甲大小的硅晶片上集成百亿级晶体管器件，难度是十分巨大的。目前在全世界范围内，具备生产这类高端光刻机的厂商只有一家，就是荷兰巨头ASML公司，这家公司生产的光刻机，被外界称作全球科技企业的集体智慧，因为单独靠一家公司是根本无法做到的。据了解，一台EUV光刻机的重量大概在180吨，光内部零件就多达8万余件，如果算上外部零件的话，能够装满40个标准集装箱，而且这些零部件都是极其复杂的，绝非几个螺丝那样简单。一台ASML的EUV光刻机，有超过90%的技术都是来自各国最顶尖的技术，比如镜头是德国蔡司的，激光器是来自美国的，还有海力士、台积电、三星等公司的众多专利融为一体，所以称作人类集体智慧的产物也并不为过。因此EUV光刻机的生产难度也非常高，产能十分有限。据悉到2020年底，ASML累计的EUV光刻机出货量仅有100台，这个数量确实让人觉得有些不可思议。因为生产难度极高、体积巨大、零件众多等原因，EUV光刻机的价格也是相当的昂贵，一台光刻机的价格就高达1.48亿欧元，折合人民币约11.7亿。但即便如此，依然被三星、台积电等公司抢着买。

中国现在有多少台光刻机

2，中国进口光刻机数量

中国已购700台光刻机回归到中国攻克光刻机的问题上，虽起步较晚，但国产光刻机的进程已在逐步推进。相关媒体还报道称，在2021年，上海微电子便有望交付首台28nm光刻机，若事件属实，我国对进口光刻机的依赖将逐渐减少，国产芯片的制造也将被大大推动。企业在努力，国家层面也在发力。早在2008年，我国便已开始攻关国产光刻机，为此还成立了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”（简称02专项），投入了大量的人力物力；到了2020年9月16日，中科院还表示，将对光刻机及一些关键的核心技术、关键原材料等进行布局，集中全院力量来攻克这些目前最受关注的重点技术。可以说，虽然国内的芯片生产暂时仍需向ASML购买光刻机，但国产光刻机也在不停追赶中。?值得一提的是，早2018年初，中芯国际便向ASML订购了一台EUV光刻机，按照计划，2019年年底便需交付，2020年便可完成安装，然而由于美国的阻挠，这台EUV光刻机至今依旧是“未出库”状态。幸运的是，虽然EUV光刻机“禁售”，但DUV光刻机的对华出口并不受限，据了解，DUV光刻机可生产7nm及以上制程芯片，可满足现阶段国内企业芯片生产的需求。根据ASML全球副总裁沈波透露：截至当前，中国已经购买了700多台ASML光刻机的装机；2020年二、三季度，ASML发往中国的光刻机台数也超过了全球总台数的20%。ASML方面还表示，中国将成为全球最大的成熟制程芯片市场，该公司将加快在中国市场的投资布局，运用领先的光刻技术帮助中国客户提高芯片制造性能、降低成本。

中国进口光刻机数量

3，中国唯一一台euv光刻机现状

国产光刻机任重道远。“即使你给图纸，你也做不出一个光刻机。”“就算全国都发展半导体制造，也很难成功。”ASML掌门人、TSMC创始人张忠谋在过去两三年里不止一次公开表示，中国大陆自己无法成功制造光刻机。实际上，严格来说，位于荷兰的ASML公司(ASML)是世界上唯一一家可以生产光刻机的公司，但它只是一家组装公司。大量核心技术来自美国，在ASML的供应链中也有中国公司，如傅晶科技和沃尔特天然气公司。实际上，在光刻机成品方面，上海微电子自2002年成立以来，一直牢牢扎根于低端光刻机市场，90nm及以下工艺的产品一直在稳步出货。公开数据显示，2018年上海微电子出货量约为50-60台，约占大陆市场的80%。所以，以上两人的论断要加上一个前提条件，那就是“先进制造工艺”的光刻机。我们常说的高级芯片是指生产工艺小于28nm的芯片，也就是28\14\7\5\3nm的工艺。这次上海微电子在光刻机举行首个2.5D/3D高级封装交付仪式，标志着中国首个2.5D/3D高级封装在光刻机正式交付给客户，但对于我们目前的卡顿芯片制造来说，只是暗夜中的烛光。“1”和“0”的故事虽然近年来“光刻机”屡见报端，但很少有人提到光刻机主要分为“前路、后路、面板”三类。卡脖子的是前路光刻机，这次上海微电子发布了光刻机。如果把芯片制造比作食品生产，前面的路就是“食品”本身，后面的路就是包装袋。面板制造属于平时想不起来的“调味品”，但它的缺失会直接打击消费者的味蕾，给数字生活调味，因为面板是C端用户最“触手可及”的。因为没有驱动芯片，无论是前端还是后端芯片，C端用户都很难对芯片性能有直观的体验。但是，无论包装和调味品对食品有多重要，如果没有“食品”本身，它的价值就是“0”。所以要想充分体现后通道和面板芯片的价值，首先要有性能优异的前通道芯片。在以前的光刻机制造中，其实光刻机并不是按照“NM”的个数来分类的，而是按照光源的波长来分为436nm光源的“g线光刻机”；具有365纳米光源的“I线掩模对准器”;具有248纳米光源的“KrF掩模对准器”;193nm深紫外光源的“DUV光刻机”;以及13.5nm极紫外光源的“EUV光刻机”，也是目前卡脖子的主打产品。目前上海微电子的产品技术已经触及ArF技术和相应的光刻胶。目前，国内公司如上海新阳、通成新材料、南大光电、景瑞股份有限公司等都已开展研发和生产。其中，南大光电旗下的ArF光刻胶已于2020年底顺利通过客户验证，是国内首个通过产品验证的国产光刻胶。

中国唯一一台euv光刻机现状