分辨率是编码器和电子细分每次旋转获得的最小分辨率。偏差（在电压设定基准上）和电压分辨率是指电压波动过小时的电源（精度通常用精度表示），例如，不同的入射电子能量导致不同的作用区域，在高加速电压下，入射电子能量高，作用深度大，叠加不同深度的信号，无法清晰表征材料表面细节；当加速电压较低时，入射射电能量较低，作用深度较浅，提高了空间分辨率。

分辨率通常用输入量的最大变化来衡量，该变化可以使输出在满量程内逐步变化。如果这个东西在电源上，他的意思是电压会存在，精度是由编码器的刻线数量和编码器上刻线的误差决定的，精度表示在一定条件下进行多次测量时测量结果相互一致的程度，它反映了测量结果中随机误差的影响。


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