l确切地说,GaN-led芯片由蓝宝石或sic制成,这是因为GaN没有块状材料,无法同质外延。LED外延片的衬底材料是半导体照明行业技术发展的基石,碳化硅外延片是以碳化硅单晶为衬底生长的外延片,不同的衬底材料需要不同的LED外延片生长技术、芯片加工技术和器件封装技术,三种衬底材料:蓝宝石(Al。
对于LED芯片的制造,基板材料的选择是首要考虑的因素。外延:在单晶衬底(基板)上生长具有一定要求(厚度和掺杂浓度)的单晶层就像将原始晶体的一部分向外延伸,这就是所谓的外延。目前LED外延片的生长技术主要采用有机金属化学气相沉积法。我们只能通过异质外延生长。LED外延片是指加热到适当温度的衬底(主要是蓝宝石、SiC、Si),气态物质InGaAlP以可控的方式输送到衬底表面生长特定的单晶薄膜。
蓝宝石价格便宜,外延技术成熟。\\ \\ r \\ \\ N具体工艺为衬底-结构设计-缓冲层生长-N型GaN层生长-多量子阱发光层生长-P型GaN层生长-退火-检测(光致发光、X射线)-外延片\\ \\ r \\ \\ N芯片是最后一道工序,在外延片上进一步加工。但SiC与GaN的晶格失配小、热导率高,非常适合制备大功率led。
国内LED外延片产能快速提升,技术水平不断提高,产品开始进入中高档。近年来,下游应用市场的繁荣带动了我国LED产业的快速发展,外延片市场也迎来了良好的发展机遇,在芯片市场供应紧张、各地加大政策支持力度的背景下。使用领域,在电路和仪器中用作指示灯,或用作文本或数字显示。砷化镓二极管发出红光,磷化镓二极管发出绿光,碳化硅二极管发出黄光,氮化镓二极管发出蓝光。
文章TAG:外延 衬底 芯片 led GaN