芯片的耗材和靶材是具有高附加值的特殊电子材料，是生产半导体芯片、显示器、存储器、太阳能等高科技产品不可或缺的关键材料。根据应用方向不同，可分为半导体相关靶材:电极、布线膜:铝靶材、铜靶材、金靶材、银靶材、钯靶材和铂靶材，十亿芯片，主要包括半导体领域使用的靶材、记录介质用靶材、显示膜用靶材、光学靶材、超导靶材等，用于半导体领域的靶主要包括用于电极布线膜的靶、用于阻挡膜的靶和用于粘合膜的靶。

根据材料的不同，靶材可分为金属靶材、陶瓷（氧化物、氮化物等。）靶和合金靶。R


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